金融界2024年10月29日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“供气装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN 118824892 A，申请日期为2023年4月。

　　专利摘要显示，本申请实施例提供了一种供气装置及半导体工艺设备，其中，所述供气装置包括：进气组件、出气组件和气流调节装置；进气组件设有第一出气口，出气组件设有第一进气口，第一出气口与第一进气口对接，出气组件包括导气板，导气板与第一进气口相对，导气板分布有多个贯穿导气板的通气孔，第一出气口在导气板上的正投影位于导气板的中心区域；气流调节装置包括导流罩和驱动组件，NG体育官网驱动组件与导流罩驱动连接，导流罩设于第一出气口处，且导流罩上开设有第一穿孔，驱动组件用于驱动导流罩朝靠近或远离导气板的方向移动，以调整第一出气口的口壁与导流罩的外侧壁的间距。所述供气装置用于按需向腔体供应工艺气体。

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